Plangläser

- Parallelität 0,2 µm, Ebenheit 0,1 µm, mit Kassette

Glas-ø in mm	Dicke in mm	Parallelität in µm	Ebenheit in µm
30	12	0,2	0,1

Abbildung: Glas-ø 45 mm

- Parallelität 0,2 µm, Ebenheit 0,1 µm, mit Kassette

Glas-ø in mm	Dicke in mm	Parallelität in µm	Ebenheit in µm
45	12	0,2	0,1

- Parallelität 0,2 µm, Ebenheit 0,1 µm, mit Kassette

Glas-ø in mm	Dicke in mm	Parallelität in µm	Ebenheit in µm
60	12	0,2	0,1

Abbildung: Glas-ø 45 mm